接觸速度（Z 方向）

0.1 至 1 mm/s

測桿長度

175 mm, 350 mm

測量速度（文本）

0.2 mm/s 至 4 mm/s

針尖半徑

25

掃描長度末尾（X 方向）

200 mm

分辨率

Z 方向，相對探針針頭：
0.38 μm（350 mm 測桿）/ 0.19 μm（175 mm 測桿）

Z 方向，相對測量系統：
0.04 μm

掃描長度開始（X 方向）

0.2 mm

取樣角

在平滑表面上，取決于偏差：
后緣高至 88°，前緣高至 77°

定位速度（文本）

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
Z 方向：0.2 至 10 mm/s

導塊偏差

< 1 μm（200 mm 以上）

測量原則

探針法

輸入

R 測頭，MFW 250
光學測頭 Focodyn*、LS 1*、LS 10*
（*僅結合 PGK 或 GD 120 CNC 驅動裝置）

測量范圍 mm

(in Z) 50 mm
MFW 250: ±25 μm，±250 μm，（*高 ±750 μm）；±1000 μin，±10,000 μin（*高 ±30,000 μm）

掃描長度（文本）

自動；0.56 mm；1.75 mm；5.6 mm；17.5 mm，56 mm，
（.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸），
測量至擋塊，可變

采樣長度數量符合 ISO/JIS

1 至 50（默認：5）

測量力 (N)

1 mN 至 120 mN 左右
（可在 MarSurf XC 20 中設置）